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三轴激光扫描振镜
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产品介绍
三轴激光扫描振镜专为三维曲面、大幅面异形工件激光加工研发，新增Z 轴动态调焦模块，实现微米级深度控制，适配斜面、球面、阶梯件、圆柱件等复杂三维轮廓加工。设备搭载闭环电机控制 + 高精度温度自动补偿系统，X/Y 轴温漂控制在 100urad/8 小时内，Z 轴长时间温漂低于 5μm，重复定位精度＜1μm；特殊光路设计压缩光斑尺寸，不同加工幅面下能量高度集中，提升深雕、曲面焊接成型质量。整机延续模块化结构，抗干扰性能稳定，安装维护便捷。
技术参数
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型号 |
GZ112 |
GZ114 |
GZ120 |
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入光光斑 |
6-7mm |
6-7.5mm |
6-8mm |
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波长 |
1064/355/532nm |
1064/355/532nm |
1064/355/532nm |
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扫描角度 |
±15° |
±15° |
±15° |
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线性度 |
>99.5% |
>99.5% |
>99.5% |
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标记速度 |
<8000mm/s |
<7000mm/s |
<6000mm/s |
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定位速度 |
<22000mm/s |
<20000mm/s |
<18000mm/s |
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Z轴重复定位精度 |
<1um |
<1um |
<1um |
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X/Y轴长时间漂移 (30分钟预热后) |
<100urad/8hr |
<100urad/8hr |
<100urad/8hr |
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Z轴长时间温漂 (30分钟预热后) |
<5um |
<5um |
<5um |
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最大工作范围mm@355nm |
600x600 |
600x600 |
600x600 |
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工作高度 |
660mm |
680mm |
700mm |
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电源要求 |
±15V/10A |
±15V/10A |
±15V/10A |
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接口 |
XY2-100 |
XY2-100 |
XY2-100 |
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外形尺寸LWH(mm) |
290x108x117mm |
290x108x117mm |
290x108x117mm |
应用领域
三维曲面激光标刻、曲面激光焊接、3D 激光切割、模具深雕、航天异形构件加工、汽车复杂零部件加工。
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